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기술D-119

Stand-alone 고출력 EUV 검사기 장비 기술 및 EUV 검사기 인프라 구축 사업 기술지원기업 모집 공고

대전테크노파크 (수행: 대전테크노파크)

AI 요약

대전테크노파크는 전국 EUV 소재·부품·장비 관련 중소·중견기업을 대상으로 Stand-alone 고출력 EUV 검사기 장비 기술 및 EUV 검사기 인프라 구축 사업기술지원 기업을 모집합니다. 본 사업은 시제품제작, 기술지도, 물성평가 지원지원 장비 활용을 통해 EUV 소재 제조공정 고도화 및 상용화를 돕습니다. 선정된 기업은 1기업당 최대 15,000천원 이내의 지원을 받으며, 신청 기간은 2026년 7월 20일부터 2026년 11월 20일까지입니다.

지원금액

1기업당 최대 15,000천원 이내 지원

지원유형

현물지원

신청기간

2026.07.20 ~ 2026.11.20

신청방법

온라인 접수

지원 대상

전국 EUV 소재·부품·장비 관련 중소·중견기업

자격 요건

전국 EUV 소재·부품·장비 관련 중소·중견기업이 지원 대상입니다.

핵심 포인트

  • EUV 검사기 장비 기술 및 인프라 구축 지원
  • EUV 소재·부품·장비 관련 기업 대상
  • 시제품제작, 기술지도, 물성평가, 장비 활용 지원
  • 기업당 최대 1,500만원 지원

독소조항

지원제외대상: 필수제출 서류 누락 또는 허위기재, 다른 지역 및 기관에서 유사사업 지원, 국가연구개발사업 참여제한, 의무사항(각종 보고서 제출, 환수금 납부 등) 불이행, 채무불이행 및 부실위험(부도, 국세/지방세 체납, 채무불이행자명부 등재, 파산/회생절차 개시 신청, 최근 3개 회계연도 말 결산 재무제표 상 부채비율 연속 500% 이상 또는 유동비율 연속 50% 이하, 최근 회계연도 말 결산 기준 자본전액잠식, 외부감사 기업의 경우 최근 회계연도 말 결산 감사 의견이 “의견거절” 또는 “부적정”)에 해당하는 경우. 의무사항: 필요시 장비 지원에 따른 공정 데이터 비밀유지 협약서 작성, 공정 데이터(수집, 저장, 분석), 분석모델 및 방법론 등 저장 데이터 제공, 기업 만족도 조사, 지원성과 모니터링 등 수행. 유의사항: 제출된 서류는 반환하지 않으며, 기재된 내용이 사실과 다를 경우 선정을 취소할 수 있음.

필수서류

  • 지원신청서 (붙임 서식 제1호)
  • 신청자력 요건 검토서 (붙임 서식 제2호)
  • 개인(기업)정보 수집ㆍ이용ㆍ제공ㆍ조회 동의서 (붙임 서식 제2호)
  • 청렴서약서 (붙임 서식 제3호)
  • 확약서 (붙임 서식 제4호)
  • 사업자등록증
  • 표준재무제표증명(국세청, 24~25년도 자료)
  • 국세 납세증명서(국세청)
  • 지방세 납세증명서(민원24시)
  • 국민연금가입자명부(2025년도/국민연금관리공단)
  • 4대 사회보험 사업장 가입자명부(2026년도/4대사회보험 정보연계센터)

선정기준

선정평가: 평가항목 (사업 목표 및 결과물의 구체성, 사업실현 가능성, 기술수준 및 경쟁력, 지원필요성, 활용도 및 파급효과, 성과창출 가능성 등), 평가방법 (서면 또는 발표평가), 선정기준 (70점 이상 예산 범위내 고득점 순으로 선정). 중복성 검토: 국가과학기술지식정보서비스(NTIS)를 통해 국가 연구개발사업으로 추진하였거나 추진 중인 연구개발과제와의 차별성 검토 실시. 연구개발과제가 기개발 또는 기지원된 연구개발과제와 비교하여 판단요소가 동일하거나 유사한 경우에는 중복과제로 판단 (연구 주제가 유사하더라도 연구 목표, 연구수행방식, 연구단계 등이 다른 경우는 제외). 최종평가: 평가 항목 (제반사항 이행여부, 사업목표 달성도, 사업수행과 정의 적정성, 결과물의 수준 및 성과, 결과물 활용), 평가 기준 (70점 이상 사업 수행 ‘성공’ 으로 판단).

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